在半導(dǎo)體領(lǐng)域，超純水是制造過程中重要的原材料，其電導(dǎo)率、微粒含量、TOC、DO等各項(xiàng)水質(zhì)指標(biāo)都必須嚴(yán)格控制。超純水的生產(chǎn)過程中，微粒子、電導(dǎo)率和TOC等任何一個(gè)指標(biāo)稍有差異，都可能導(dǎo)致半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的合格率下降。因此，對(duì)超純水處理技術(shù)的持續(xù)改進(jìn)和提升，是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的重要研究方向。
 

　　隨著半導(dǎo)體集成度的提高和線寬的縮小，對(duì)水質(zhì)的要求也更為嚴(yán)格，未來超純TOC降解技術(shù)的發(fā)展方向?qū)⒅饕性谝韵聨讉€(gè)方面。
 

　　1.更高效降解技術(shù)：隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)超純水中有機(jī)物的限制更加嚴(yán)格。在許多高科技和實(shí)驗(yàn)室設(shè)備中，總有機(jī)碳(TOC)會(huì)阻礙高純水的生產(chǎn)。因此，需要開發(fā)更高效、快速的降解技術(shù)，以滿足不斷增長(zhǎng)的需求；
 

　　2.綠色環(huán)保技術(shù)：采用環(huán)境友好型技術(shù)和材料，減少對(duì)環(huán)境的負(fù)擔(dān)和影響；
 

　　3.智能控制技術(shù)：利用先進(jìn)的傳感器、控制器和人工智能技術(shù)，實(shí)現(xiàn)超純水TOC降解過程的智能控制和優(yōu)化管理；
 

　　4.多技術(shù)聯(lián)合應(yīng)用：將不同技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)結(jié)合在一起，形成多技術(shù)聯(lián)合應(yīng)用方案，以提高降解效率和可靠性。

安力斯-微電子超純水TOC降解系統(tǒng)
 

　　其中，對(duì)超純水TOC(總有機(jī)碳)的降解是關(guān)鍵環(huán)節(jié)之一。安力斯EX-UPW-TOC系列產(chǎn)品是一款適用于超純水 (UPW) 制備中對(duì)總有機(jī)碳 (TOC) 進(jìn)行降解的可靠系統(tǒng)。通過更高185nm輸出強(qiáng)度、實(shí)時(shí)在線的紫外線強(qiáng)度監(jiān)測(cè)、本地/遠(yuǎn)程的智能控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)嚴(yán)格、高效的總有機(jī)碳 (TOC) 降解。該設(shè)備在超純水制備工藝中，可使超純水TOC降至1ppb以下。
 

　　可以期待，高效、智能且環(huán)保的TOC降解系統(tǒng)技術(shù)將成為未來半導(dǎo)體領(lǐng)域的水處理重要的發(fā)展方向，不斷探索新的技術(shù)和方法，以滿足不斷增長(zhǎng)的需求和提高水質(zhì)指標(biāo)，未來將極大地推動(dòng)半導(dǎo)體制造技術(shù)的發(fā)展。